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3月26日，全球半導(dǎo)體盛會(huì)SEMICON China 2025在上海拉開帷幕。萬業(yè)企業(yè)旗下上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司（下稱“凱世通”）攜全系列創(chuàng)新產(chǎn)品及解決方案亮相，向全球展示中國半導(dǎo)體裝備自主化的突破性成果。先導(dǎo)科技集團(tuán)董事長、萬業(yè)企業(yè)董事長兼總裁、凱世通董事長朱世會(huì)，受邀出席了大會(huì)，共話凱世通聚焦高端半導(dǎo)體裝備離子注入機(jī)的技術(shù)創(chuàng)新與發(fā)展戰(zhàn)略，以及在控股股東先導(dǎo)科技集團(tuán)的賦能下，萬業(yè)企業(yè)未來業(yè)務(wù)的協(xié)同發(fā)展方向。

戰(zhàn)略聚焦“卡脖子”環(huán)節(jié)：萬業(yè)企業(yè)與先導(dǎo)科技的協(xié)同突圍

在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭格局下，關(guān)鍵材料與核心設(shè)備的自主可控已成為國家戰(zhàn)略。近年來，萬業(yè)企業(yè)通過“外延并購+產(chǎn)業(yè)整合”的戰(zhàn)略路徑，在半導(dǎo)體設(shè)備和零部件領(lǐng)域進(jìn)行了前瞻性布局，旗下凱世通在國內(nèi)的集成電路離子注入機(jī)市場占據(jù)重要地位。

作為萬業(yè)企業(yè)的控股股東，先導(dǎo)科技集團(tuán)在銦、鎵、鍺、硒、碲、鉍金屬的產(chǎn)銷量全球領(lǐng)先，產(chǎn)品稀缺性較強(qiáng)，具有極強(qiáng)的戰(zhàn)略意義。尤其在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，先導(dǎo)科技擁有深厚的技術(shù)積累和上下游產(chǎn)業(yè)資源優(yōu)勢，具備覆蓋泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的高端材料—器件—模組—系統(tǒng)—裝備的全產(chǎn)業(yè)鏈，建成了從底層材料到終端應(yīng)用的完整生態(tài)閉環(huán)。憑借先導(dǎo)科技在稀散金屬全產(chǎn)業(yè)鏈的全球領(lǐng)導(dǎo)地位，打造形成了“材料+設(shè)備+零部件”的閉環(huán)布局。今年1月，萬業(yè)企業(yè)作為先導(dǎo)科技體系內(nèi)唯一專注于鉍金屬業(yè)務(wù)深加工經(jīng)營的平臺(tái)，正全力推進(jìn)鉍金屬的產(chǎn)品業(yè)務(wù)，為萬業(yè)企業(yè)的可持續(xù)發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)能。

依托雙方在半導(dǎo)體領(lǐng)域的深厚積累，先導(dǎo)科技集團(tuán)將攜手萬業(yè)企業(yè)打造集成電路產(chǎn)業(yè)平臺(tái)新階段，進(jìn)一步推動(dòng)萬業(yè)企業(yè)在半導(dǎo)體材料、精密控制、工藝應(yīng)用方面的科技創(chuàng)新，為半導(dǎo)體行業(yè)提供材料、核心零部件、高端裝備、終端應(yīng)用的全方位解決方案。這種協(xié)同效應(yīng)使雙方能夠從材料源頭控制成本和技術(shù)迭代節(jié)奏，同時(shí)通過設(shè)備應(yīng)用驗(yàn)證材料性能，形成正向循環(huán)。

作為先導(dǎo)科技集團(tuán)的創(chuàng)始人，朱世會(huì)在會(huì)場表明了未來的戰(zhàn)略規(guī)劃，他指出：“萬業(yè)企業(yè)將是目前整個(gè)集團(tuán)層面極其重要的半導(dǎo)體業(yè)務(wù)板塊的承載平臺(tái)，我們避開競爭激烈的成熟應(yīng)用市場，聚焦設(shè)備和材料的‘卡脖子’難題。憑借集團(tuán)長期積累的技術(shù)優(yōu)勢，抓住國產(chǎn)替代窗口期，通過垂直整合構(gòu)建自主可控的產(chǎn)業(yè)生態(tài)。自今年起，我們在萬業(yè)企業(yè)已有的離子注入機(jī)業(yè)務(wù)基礎(chǔ)上，拓展了材料領(lǐng)域的鉍金屬產(chǎn)品業(yè)務(wù)。稀散金屬在地殼中的含量極低，多伴生于鋁礦、鉛鋅礦、銅礦等主金屬礦床，廣泛應(yīng)用于集成電路、新能源、超清顯示、高端裝備、人工智能等科技領(lǐng)域，具有極強(qiáng)的稀缺性。這一舉措致力于持續(xù)在‘硬卡替’方面為國家貢獻(xiàn)力量，進(jìn)一步保障了我國戰(zhàn)略資源供應(yīng)鏈安全?！?/p>

技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)化落地：凱世通領(lǐng)跑國產(chǎn)離子注入機(jī)賽道

作為半導(dǎo)體制造的“精準(zhǔn)摻雜利器”，離子注入機(jī)技術(shù)復(fù)雜度高、驗(yàn)證周期長，長期被國外巨頭壟斷，國產(chǎn)化率不足5%。隨著集成電路制造工藝向先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)演進(jìn)與特色工藝生態(tài)創(chuàng)新，離子注入機(jī)市場面臨廣闊發(fā)展機(jī)遇。

凱世通領(lǐng)跑國產(chǎn)集成電路離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)化，公司研發(fā)量產(chǎn)的低能大束流離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)等系列產(chǎn)品，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，在設(shè)備裝機(jī)量、性能和穩(wěn)定性等方面處于國產(chǎn)化前列，實(shí)現(xiàn)了邏輯、存儲(chǔ)、功率、CIS圖像傳感器等各類芯片工藝的全覆蓋。

本屆SEMICON China展會(huì)現(xiàn)場，凱世通帶來了全系列集成電路離子注入機(jī)產(chǎn)品矩陣。通過長期的技術(shù)攻關(guān)與量產(chǎn)應(yīng)用，凱世通離子注入機(jī)在離子源、光路系統(tǒng)、晶圓傳送、顆粒污染物控制、軟件自動(dòng)化等關(guān)鍵技術(shù)方面進(jìn)行了持續(xù)升級(jí)迭代，關(guān)鍵性能指標(biāo)持續(xù)改進(jìn)，獲得了晶圓廠客戶的廣泛認(rèn)可。自2020年首臺(tái)訂單突破以來，凱世通累計(jì)收獲12英寸集成電路離子注入機(jī)設(shè)備訂單近60臺(tái)，訂單總金額超14億元，其中50%以上為重復(fù)訂單，完成產(chǎn)線交付超40臺(tái)并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，服務(wù)了十余家重點(diǎn)芯片制造企業(yè)與國家工程。

凱世通以國產(chǎn)集成電路離子注入技術(shù)自立自強(qiáng)為己任，針對(duì)離子注入設(shè)備國產(chǎn)化的空白領(lǐng)域，根據(jù)國內(nèi)先進(jìn)工藝制造需求，凱世通繼成功實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)超低溫離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)化，打破國外技術(shù)壟斷，近期又順利獲得了新機(jī)型CIS離子注入機(jī)的驗(yàn)證驗(yàn)收，實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)CIS離子注入機(jī)的重要突破，推動(dòng)國內(nèi)離子注入機(jī)技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化再上新臺(tái)階。

朱世會(huì)表示，先導(dǎo)科技集團(tuán)歷經(jīng)30年發(fā)展，在材料科技、光電子、微電子、零部件、芯片設(shè)計(jì)和軟件算法等多個(gè)技術(shù)領(lǐng)域形成全產(chǎn)業(yè)鏈平臺(tái)優(yōu)勢，依托不斷深化客戶合作開發(fā)、完善的供應(yīng)鏈體系以及強(qiáng)大的零部件自主研發(fā)能力，將積極賦能萬業(yè)企業(yè)和旗下的凱世通在國產(chǎn)集成電路離子注入機(jī)技術(shù)研發(fā)與生產(chǎn)制造，不斷夯實(shí)零部件供應(yīng)鏈基礎(chǔ)，為國內(nèi)集成電路客戶高質(zhì)量發(fā)展貢獻(xiàn)更多的解決方案。（厲平）

校對(duì)：王朝全